一、洁净无尘室厂房的平面布置应合理安排洁净生产区、辅助区和动力区，并应符合下列要求：
1、洁净厂房（区）人员净化、物料净化和各种辅助永房，应合理分区布置。
2、生产工艺或生产设备有特殊要求时，宜分隔为单独的房间。
3、生产过程中排放腐蚀性气体的生产设备或生产工序应分类、集中布置或与其他生产房间分隔。
4、发热量、发尘量大的生产工序或生产设备，宜与空气洁净度要求严格的房间分隔布置。
5、洁净无尘室（区）的辅助设备、维修间等技术支持区，宜集中布置在洁净室（区）的相邻房间，技术支持区的空气洁净度等级应低于洁净室（区）的等级。
6、若需在洁净厂房（区）内设置洁净电梯时，应采用气闸间、洁净送风措施。
7、应符合有关防爆、防火、消防等要求。
二、洁净无尘室（区）的空间布置应满足下列要求：
1、生产设备、物料运输系统应根据产品生产工艺要求布置，并应做到有效、灵活和操作方便。
2、各类管线的空间布置应满足生产工艺、安全间距和维修要求。
3、终端高效空气过滤器、照明灯具和各种公用动力设施的布置，应满足生产工艺、洁净度等级、安全生产和维修要求。
4、洁净生产层的高度应按生产设备、微环境装置和物料运输设备的外形尺寸确定。技术夹层高度应根据具体工程要求确定。
三、洁净无尘室（区）内应少分隔，但下列情况应予分隔：
1、按火灾危险性分类，甲、乙类的房间与相邻的生产区段或房间之间，或有防火分隔要求时，应设隔墙。
2、在电子产品生产过程中，经常不同时使用的两个生产区段或房间之间。
3、无尘室生产过程中排放影响产品质量的有害气体或化学污染的工艺、设备，宜分隔设置独立房间。
四、洁净厂房的布置应综合协调生产操作、设备安装和维修、公用动力管线、气流流型以及净化空调系统等各类技术设施的需要